微机电（MEMS）模态测试方案

解决方案的亮点：
VibroView 系列高性能影像测振仪是针对微机电模态测量这一市场需求，推出的一款高性能产品。该产品利用在光子芯片上集成的激光多普勒干涉技术，实现对2.5MHz面外振动精确测量。同时为满足高端用户需求，在对硬件及软件扩展后可以进一步提升到对125MHz面外振动的测量能力。